安信证券最新研报表示，零部件是半导体设备核心，市场规模超400亿美元，品类众多，单一产品市场集中度高，技术壁垒高，国产化率低，部分品类率先突破，国产化快速推进。推荐国内高纯洁净材料龙头新莱应材（300260）、气体输送系统龙头万业企业（600641），从清洗设备切入半导体零部件的至纯科技（603690），建议关注零部件业务快速增长的江丰电子（300666）、国内平台型零部件企业富创精密、国内真空泵领先企业汉钟精机（002158）、半导体精密运动控制系统龙头华卓精科。